[发明专利]具有罗茨转子和螺旋转子的复合干式真空泵有效
| 申请号： | 200710137626.7 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101158353A | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | 黄泰暻;卢明根;吴兴植 | 申请（专利权）人： | LOT真空股份有限公司 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C25/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明是关于一种具有罗茨转子和螺旋转子的复合干式真空泵，包括：具有内部容纳空间的外壳、吸入口及排出口；第一和第二罗茨转子，其位于该外壳的内部容纳空间内并互相啮合；第一和第二螺旋转子，毗邻该第一和第二罗茨转子并互相啮合；第一和第二传动轴；以及一电机，该第一和第二罗茨转子分别具有三个叶片。该复合干式真空泵，能够在半导体或显示装置制造设备中的过程室中的过程副产物排出和/或气体物质生成期间，或是在过程室中生成真空时，保持较高的气体压缩转移效率。并且能够保持罗茨转子与螺旋转子之间的平衡，防止真空泵中产生振动和噪音。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 转子 螺旋 复合 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种具有罗茨转子和螺旋转子的复合干式真空泵，其特征在于其包括：具有内部容纳空间的外壳，该外壳一侧设有吸入口及该外壳另一侧设有排出口；第一和第二罗茨转子，其位于该外壳的内部容纳空间内并互相啮合；第一和第二螺旋转子，其位于该外壳的内部容纳空间内毗邻该第一和第二罗茨转子并互相啮合；分别从该第一和第二罗茨转子及第一和第二螺旋转子中心穿过的第一和第二传动轴；及能够驱动该第一和第二传动轴转动的电机；其中该第一和第二罗茨转子包括三个叶片。
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