[发明专利]图案检查装置以及半导体检查系统有效
| 申请号： | 200710138251.6 | 申请日： | 2007-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101127119A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 丰田康隆;酢谷拓路;松冈良一;纳谷英光 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种图案检查装置，包括：轮廓提取单元，其从所述半导体器件的拍摄图像中提取图案的轮廓数据；非直线部位提取单元，其从所述轮廓数据中提取非直线部位；角部位提取单元，其从所述半导体器件的设计数据中提取图案的角部位；以及缺陷检测单元，其比较来自所述非直线部位提取单元的非直线部位的位置、和来自所述角部位提取单元的角部位的位置，来检测图案的缺陷部位的位置。由此，可提供一种能高精度且高效地检测缺陷的、对半导体器件的图案进行检查的图案检查装置。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 检查 装置 以及 半导体 系统 | ||
【主权项】：
1.一种图案检查装置，对半导体器件的图案进行检查，包括：轮廓提取单元，其从所述半导体器件的拍摄图像中提取图案的轮廓数据；非直线部位提取单元，其从所述轮廓数据中提取非直线部位；角部位提取单元，其从所述半导体器件的设计数据中提取图案的角部位；以及缺陷检测单元，其比较由所述非直线部位提取单元提取的非直线部位的位置、和由所述角部位提取单元提取的角部位的位置，来检测图案的缺陷部位的位置。
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