[发明专利]曝光用光源以及使用该曝光用光源的曝光装置无效
| 申请号： | 200710138265.8 | 申请日： | 2007-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101236358A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 白井哲也;清木芳彦;中川敦二 | 申请（专利权）人： | 凤凰电机公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供可进行根据抗蚀层的曝光、并且产品的使用寿命长的曝光用光源以及使用该曝光用光源的曝光装置。曝光用光源(10)的特征是，具有至少两种以上的分别具有内压不同的灯(24)的灯组件(20(20a、20b、20c…))和保持灯组件(20(20a、20b、20c…))的灯组件保持件(22)。根据本发明，由于具有至少两种以上的具有内压各不相同的灯(24)的灯组件(20(20a、20b、20c…))，因此，可选择最适合对曝光对象物(X)进行曝光的灯组件(20(20a、20b、20c…))使其发光。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 用光 以及 使用 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种曝光用光源，用于对曝光对象物进行曝光，其特征在于，所述曝光用光源具有：至少两种以上的分别具有内压不同的灯的灯组件、和保持所述灯组件的灯组件保持件。
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