[发明专利]压电/电致伸缩元件的制造方法无效
| 申请号： | 200710140250.5 | 申请日： | 2007-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN101290966A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 大西孝生;谷信;和田敬;小泉贵昭 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为了得到采用含有碱金属或碱土金属的物质作为压电/电致伸缩体的材料，并且电特性均匀而没有波动的压电/电致伸缩元件，提供一种压电/电致伸缩元件的制造方法，其特征为，在烧成压电/电致伸缩体的工序后，具有至少一次用酸性液体或纯水清洗含有压电/电致伸缩体的压电/电致伸缩元件的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 伸缩 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.压电/电致伸缩元件的制造方法，其特征在于，所述压电/电致伸缩元件具有层叠结构，包括含有碱金属或碱土金属的膜状压电/电致伸缩体和夹持该压电/电致伸缩体的一对膜状电极，该压电/电致伸缩元件的制造方法具有烧成所述压电/电致伸缩体的工序A1，以及用酸性液体或纯水清洗所述含有压电/电致伸缩体的所述压电/电致伸缩元件的工序B1，并且在所述工序A1后，进行至少一次所述工序B1。
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