[发明专利]有机金属化合物无效
| 申请号： | 200710141354.8 | 申请日： | 2007-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101121734A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | D·V·舍奈－卡特克哈特;Q·M·王 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C07F19/00 | 分类号： | C07F19/00;C07F9/50;C23C16/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了包含膦脒化物配体的有机金属化合物。这类化合物特别适合用作气相沉积前体。还提供了通过例如ALD和CVD，使用所述化合物沉积薄膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 | ||
【主权项】：
1.一种有机金属化合物，具有以下化学式：(R1YCR2PR3)nM+mL1 (m-n)L2 p，式中R1、R2和R3独立地选自H、(C1-C6)烷基、(C2-C6)烯基、(C2-C6)炔基和芳基；Y＝N或P；M＝金属；L1＝阴离子型配体；L2＝中性配体；m＝M的价数；n＝1-6；p＝0-3；式中m≥n。
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