[发明专利]可变形镜无效
申请号: | 200710141394.2 | 申请日: | 2007-08-09 |
公开(公告)号: | CN101122682A | 公开(公告)日: | 2008-02-13 |
发明(设计)人: | 田中史记;田中克彦;石井明;杉山进 | 申请(专利权)人: | 船井电机株式会社 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G11B7/135;H01L41/08 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王玉双 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种可变形镜,包括支承基板;镜基板,其与该支承基板相对;固定构件,其设置在该支承基板上且固定该镜基板;以及压电元件,其设置在该支承基板上,并且可膨胀或收缩,以使得该镜基板的反射面能变形。该固定构件的线膨胀系数大于该压电元件的线膨胀系数。该镜基板的后表面设置有金属接合层,该金属接合层至少设置在要接合到该固定构件上的部分。该金属接合层通过加热时按压该镜基板和该固定构件而使得该镜基板和该固定构件相互接合。该镜基板和该压电元件相互不接合。 | ||
搜索关键词: | 变形 | ||
【主权项】:
1.一种可变形镜,包括:支承基板;镜基板,其与该支承基板相对,且在该镜基板的、与面向该支承基板的表面相对的表面上具有反射面;固定构件,其设置在该支承基板上且固定该镜基板;以及至少一个压电元件,其设置在该支承基板上,并且当施加电压时所述压电元件膨胀或收缩,以使得由通过该固定构件固定的部分而包围的该镜基板的区域能够变形,其中:该固定构件的线膨胀系数大于该压电元件的线膨胀系数,该镜基板的背面设置有金属接合层,该金属接合层至少设置在要接合到该固定构件上的部分,该金属接合层通过加热时按压该镜基板和该固定构件而使得该镜基板和该固定构件相互接合,并且该镜基板和该压电元件相互不接合。
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