[发明专利]探针板

摘要

在本发明中，在探针板的电路板的下表面侧附接检查接触结构。检查接触结构具有硅衬底和附接到硅衬底的上表面和下表面的薄片。每个薄片都具有弹性并且具有突出状的导电部分。硅衬底形成有在垂直方向上穿过衬底的载流通道，因此薄片的导电部分和硅衬底的载流通道互相接触。上部薄片和下部薄片固定到硅衬底，并且在上表面上的薄片固定到电路板。

主权项

1.一种用来检查位于探针板下面的被检查物体的电特性的探针板，包括：电路板；和设在所述电路板和所述被检查物体之间的检查接触结构，用来在所述被检查物体和所述电路板之间传导电流，所述检查接触结构包括：具有平板形状的衬底；和附接到所述衬底的上表面和下表面两者的薄片，所述衬底夹在所述薄片之间，所述薄片中的每一个都包括多个弹性的导电部分和与所述导电部分互连的绝缘部分，形成的所述导电部分穿过所述每个薄片并且从所述每个薄片的上表面和下表面两者突出，形成的所述衬底具有多个穿过上表面到达下表面的载流通道，在所述衬底的两个表面上的所述薄片的所述导电部分电连接到所述衬底的相应的载流通道，在所述衬底的两个表面上的所述薄片固定到所述衬底，并且在所述衬底的上表面侧上的所述薄片固定到所述电路板。