[发明专利]内装有光传感器的抛光垫

摘要

一种光传感器，它包括光源(28)和检测器(30)，该检测器位于抛光垫(10)的槽(14)内，从而面向要被抛光的表面。光源发出的光被正被抛光的表面反射，检测器检测该反射光。检测器所产生的电信号被传输到位于抛光垫的中央开口(12)内的集线器(20)。可处理的抛光垫与该集线器可拆卸地机械和电子地连接。该集线器包括电路(78，58)，所述电路用于向光传感器供电，并用于将电信号传输到非转动部分(26)。本发明还介绍了实现这些任务的几种技术。即使在抛光机进行抛光的同时，该系统也能够连续地监视正被抛光的表面的光学特性，并确定抛光工序的终点。

主权项

1.一种抛光晶片的方法，该方法包括如下步骤：提供在晶片的表面上执行抛光操作中使用的抛光垫和提供在所述抛光垫内的光学装置用于在抛光操作期间检测所述表面的光学特征；提供在所述抛光垫内的导体装置用于将来自所述光学装置的电信号传导到所述抛光垫的中央部分，提供晶片；用抛光垫抛光晶片；以及在抛光操作期间检测所述表面的光学特征。