[发明专利]移载容器的容置室结构

摘要

本发明涉及一种移载容器的容置室结构，特别是指一种供利用添加物控制移载容器内部环境的容置室结构，该移载容器包含一底座及一壳罩，壳罩可选择性覆盖于底座上形成一置放物件的容置空间，且壳罩是由一外壳与一对应容置空间的内衬所组成，其是于内衬上设有至少一供容设添加物的填充部，该填充部周缘并形成有复数通孔与容置空间连通，供利用通孔使填充部内的添加物可与容置空间内环境产生反应，以消除或吸收或中和该移载容器内部因容器本身或制程因素所释出的有害物质，使得本发明具有提升该移载容器内部洁净度的功效。

主权项

1.一种移载容器的容置室结构，该移载容器用于放置半导体制程的晶圆与光罩等物件，其特征在于其包含：一底座，其是用以承托一物件；一壳罩，其可选择性结合于该底座的上方，该壳罩结合于底座上时形成有一容置空间，又壳罩具至少一可选择性启闭的填充部，填充部周缘并形成有复数与前述容置空间连通的通孔；及至少一添加物，其是设于前述壳罩的填充部内，该添加物为供吸收、消除、中和前述容置空间内有害物质的物质，且添加物不致直接与容置空间内部的物件接触。