[发明专利]锯齿形共面波导结构的毫米波MEMS移相器

摘要

锯齿形共面波导结构的毫米波MEMS移相器，涉及一种小型化毫米波移相器。它解决了现有MEMS移相器存在单桥相移量小、相位精度低的问题。它包括共面波导和n个金属桥，共面波导由基板、信号线、两根地线组成，信号线固定在基板上表面的中间，在信号线的两侧间隔固定有地线，金属桥周期跨在共面波导基体上，每个金属桥的两端分别固定在共面波导上的两根地线上，它还包括n个介质基片，在每个金属桥正下方的信号线的两侧有对称的向内凹陷的锯齿，在所述锯齿对应的信号线上表面固定有介质基片，所述介质基片的介电常数为2～20，厚度t为0.1μm～5μm。本发明可以广泛的应用于射频通信系统以及小型相控阵雷达、相控阵天线等系统中。

主权项

1.锯齿形共面波导结构的毫米波MEMS移相器，它包括共面波导(6)和n个金属桥(4)，所述共面波导(6)由基板(1)、信号线(2)、两根地线(3)组成，信号线(2)固定在基板(1)上表面的中间，在信号线(2)的两侧间隔固定有地线(3)，所述金属桥周期跨在共面波导(6)的基板(1)上，所述金属桥(4)与所述信号线(2)垂直，每个金属桥(4)的两端分别固定在共面波导(6)上的两根地线(3)上，其特征在于它还包括n个绝缘的介质基片(5)，在每个金属桥(4)正下方的信号线(2)的两侧有对称的向内凹陷的锯齿(61)，在与所述锯齿(61)对应的信号线(2)上表面固定有介质基片(5)，所述介质基片(5)的介电常数为2～20，所述介质基片(5)的厚度t为0.1μm～5μm，所述n为大于1的自然数。