[发明专利]双束激光辅助LED芯片与热沉直接键合的方法无效
申请号: | 200710144639.7 | 申请日: | 2007-11-20 |
公开(公告)号: | CN101159303A | 公开(公告)日: | 2008-04-09 |
发明(设计)人: | 王春青;田艳红;孔令超 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/50;B23K1/005;B23K1/20;B23K35/26 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人: | 徐爱萍 |
地址: | 150001黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 双束激光辅助LED芯片与热沉直接键合的方法,它涉及LED芯片与热沉的钎焊方法。它解决了传统封装方法中对LED芯片造成热损害,以及键合质量低、定位困难、光学质量差的缺点。它的步骤为:在热沉上形成预设焊盘;光纤支架将激光发射头固定于芯片贴装机的机头上,并使真空吸嘴位于其中心;吸取LED芯片,并置于焊盘上方,使两束激光束聚焦于其上,使之熔化;真空吸嘴下降,继续加热;真空吸嘴下降至芯片金属膜与热焊盘接触,停止加热;键合完成,真空吸嘴复位并吸取下一个LED芯片,重复上述程序。本方法进行键合质量好,成品率高,定位准确,光学质量较好,而且利用激光作为热源具有功率密度高、焊接速度快、热影响区小、控制精确、易于实现自动化的优点。 | ||
搜索关键词: | 激光 辅助 led 芯片 直接 方法 | ||
【主权项】:
1.双束激光辅助LED芯片与热沉直接键合的方法,其特征在于它由下列步骤完成:步骤一:在矩形管状热沉(1-5)上表面的预设位置各焊点上先镀有多个热沉金属膜(1-4),在热沉金属膜(1-4)的上表面再镀或印刷上钎料层(1-3),形成预设的焊盘;步骤二:通过光纤支架(2-4)将两个激光发射头(2-5)固定于芯片贴装机的机头部位,使芯片贴装机的真空吸嘴(2-1)位于光纤支架中心,并使两个激光发射头(2-5)发射的两束激光束聚于焊盘上;步骤三:首先采用芯片贴装机的真空吸嘴(2-1)吸取镀有芯片金属膜(1-2)的LED芯片(1-1);步骤四:通过芯片贴装机的机头带动真空吸嘴(2-1)置于焊盘的上方,同时激光发射头(2-5)也对准待焊焊盘;步骤五:启动激光器,两束激光束(2-3)聚焦于焊盘上,加热钎料层(1-3)并使之熔化;步骤六:芯片贴装机的真空吸嘴(2-1)下降,激光器继续加热;步骤七:真空吸嘴(2-1)下降至LED芯片(1-1)的芯片金属膜(1-2)与热焊盘接触,使芯片金属膜(1-2)与钎料层(1-3)熔合,激光器停止加热;步骤八:键合完成,真空吸嘴(2-1)复位;步骤九:真空吸嘴(2-1)吸取下一个LED芯片(1-1),重复上述程序,即可进行下一个LED芯片(1-1)的键合。
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