[发明专利]用于产生离子和游离基的系统和方法无效
| 申请号： | 200710145640.1 | 申请日： | 2007-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN101179897A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·W·斯托厄尔;贡特尔·克莱姆;沃尔克·哈克;汉斯－格奥尔格·洛兹 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/34;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于产生电子和离子的系统和方法。一个实施方式包括具有放电腔室的外部电极；在所述放电腔室内定位的内部电极，所述内部电极定位形成所述放电腔室的上部分以及所述放电腔室的下部分；以及定位在所述放电腔室的下部分的进气口；其中在所述放电腔室的下部分内形成的等离子体提供可用于在所述放电腔室的上部分中形成等离子体的激发粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 离子 游离 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于产生离子的系统，该系统包括：具有放电腔室的外部电极；在所述放电腔室内定位的内部电极，所述内部电极定位形成所述放电腔室的上部分以及所述放电腔室的下部分；以及定位在所述放电腔室的下部分中的进气口；其中在所述放电腔室的下部分内形成的等离子体提供用于在所述放电腔室的上部分中形成等离子体的激发粒子。
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