[发明专利]使用可变阻抗分析的匹配网络表征有效
| 申请号： | 200710145786.6 | 申请日： | 2007-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN101154933A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·C·香农;丹尼尔·J·霍夫曼;史蒂文·莱恩;沃尔特·R·梅里;杰维科·迪恩维 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用可变阻抗分析计算匹配网络的等效串联电阻的方法及使用该方法分析的匹配网络。在一实施方式中，一种计算匹配网络的等效串联电阻的方法包括：将匹配网络连接到负载；测量在负载阻抗的范围内的匹配网络的输出；以及基于所测量的输出和负载电阻之间的关系而计算匹配网络的等效串联电阻。所述负载可以为替代负载或可以为在工艺腔室中形成的等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 可变 阻抗 分析 匹配 网络 表征 | ||
【主权项】：
1.一种表征匹配网络的方法，该方法包括：将所述匹配网络连接到负载；在负载阻抗的范围内测量所述匹配网络的输出；以及基于所测量的输出和所述负载电阻之间的关系，计算所述匹配网络的所述等效串联电阻。
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