[发明专利]药液供给装置

摘要

本发明提供能够以高精度喷出药液，并且能够监测活塞和汽缸之间是否有非压缩性介质漏出的药液供给装置。泵(11)具有隔开泵室(17)和驱动室(18)的可弯曲性管道(16)，通过在汽缸(12)的汽缸孔(33)内往返运动的活塞(34)向驱动室(18)供给非压缩性介质(38)。在大直径活塞部(34a)和汽缸(12)之间设置有形成第1密封室(63a)的第1风箱式伸缩护盖(64a)，在小直径活塞部(34b)和汽缸(12)之间设置有形成第2密封室(63b)的第2风箱式伸缩护盖(64b)。为了检测密封室(63a、63b)内密封的非压缩性介质(38a)的压力，在汽缸(12)上安装有密封室压力传感器(81)，通过检测该压力，判断密封材料(79a、79b)的劣化程度。

主权项

1.一种药液供给装置，其特征是，该装置包括：泵，该泵上设置有可以自由弹性形变的隔离膜，能够隔开与液体流入口以及流出口连通的泵室和泵侧驱动室；汽缸，该汽缸形成有大直径汽缸孔和小直径汽缸孔，并与所述泵连接；活塞，该活塞具有与所述大直径汽缸孔嵌合的大直径活塞部和与所述小直径汽缸孔嵌合的小直径活塞部，安装在所述汽缸内部，可以沿轴向自由往返运动，并在所述汽缸内形成有与所述泵侧驱动室连通的活塞侧驱动室，向所述泵侧驱动室供给或从所述泵侧驱动室排出非压缩性介质；风箱式伸缩护盖，该风箱式伸缩护盖设置在所述大直径活塞部和汽缸之间，形成有与所述大直径活塞部的滑动面相连的第1密封室；弹性形变部件，该弹性形变部件设置在所述小直径活塞部和汽缸之间，形成有与所述小直径活塞部的滑动面连接的同时与所述第1密封室连通的第2密封室；非压缩性介质，该非压缩性介质封入所述第1及第2密封室；驱动装置，该驱动装置沿轴向往返运动所述活塞，通过所述活塞侧驱动室和泵侧驱动室内的非压缩性介质使所述泵室膨胀收缩；压力检测装置，该压力检测装置用以检测所述密封室的压力和驱动室的压力中至少一方的压力。