[发明专利]无尘室进气净化设备无效
| 申请号： | 200710147946.0 | 申请日： | 2007-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN101376033A | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 郑石治;林哲弘;陈寿忠;徐瑞珠;刘邦昱;洪守铭 | 申请（专利权）人： | 华懋科技股份有限公司 |
| 主分类号： | A61L9/16 | 分类号： | A61L9/16;B01D46/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省桃园县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种无尘室进气净化设备，主要于外气入口连设一微污染(AirborneMolecular Contamination，AMC)净化设备，该微污染净化设备中设有至少一吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，以吸附外气内所含的微污染物，该微污染净化设备后方连设一外气空调箱(Make Up Air Unit，MAU)，该外气空调箱的出口直接导入无尘室；由此，以令外部补气可提供对补气质量要求较高的无尘室使用。 | ||
| 搜索关键词： | 无尘室进气 净化 设备 | ||
【主权项】：
1、一种无尘室进气净化设备，主要于外气入口连设一微污染(Airborne Molecular Contamination，AMC)净化设备，该微污染净化设备中设有至少一吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，以吸附外气内所含的微污染物，该微污染净化设备后方连设一外气空调箱(Make Up Air Unit，MAU)，该外气空调箱的出口直接导入无尘室；以此，以令外部补气可提供对补气质量要求较高的无尘室使用。
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