[发明专利]硅晶电容式麦克风无效
申请号: | 200710148916.1 | 申请日: | 2007-09-12 |
公开(公告)号: | CN101389155A | 公开(公告)日: | 2009-03-18 |
发明(设计)人: | 龚诗钦;郑权贤;欧沐怡;何鸿钧;魏文杰 | 申请(专利权)人: | 美律实业股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/01 | 分类号: | H04R19/01;H04R19/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明一种硅晶电容式麦克风,其包含有一基板(substrate)、一振动膜(diaphragm)、一背板(backplate)以及多数电极(electrode)。该基板是具有一腔体(chamber);该振动膜具有一作用区以及至少三连接部,该作用区遮蔽该腔体的开口,各该连接部是自该作用区向外侧延伸,该连接部是相隔预定距离且分别设于该基板;该背板是设于该基板上且具有多数穿孔,该穿孔是对应于该振动膜的作用区,该背板遮蔽该振动膜且与该振动膜相隔一预定距离;该电极是布设于该背板。 | ||
搜索关键词: | 电容 麦克风 | ||
【主权项】:
1. 一种硅晶电容式麦克风,其特征在于,包含有:一基板,其具有一腔体;一振动膜,其具有一作用区以及至少三连接部,该作用区遮蔽该腔体的开口,各该连接部是自该作用区向外侧延伸而分别设于该基板;一背板,是设于该基板且具有多数穿孔,该穿孔是对应于该振动膜的作用区,该背板与该振动膜相隔一预定距离;以及多数电极,是布设于该背板。
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