[发明专利]光源装置以及使用该光源装置的曝光装置无效
| 申请号： | 200710148932.0 | 申请日： | 2007-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101277567A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 白井哲也;清木芳彦;中川敦二 | 申请（专利权）人： | 凤凰电机公司 |
| 主分类号： | H05B37/04 | 分类号： | H05B37/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 曲瑞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以在长时间内射出均匀照度的光的光源装置以及使用该光源装置的曝光装置，该光源装置(10)具备：灯单元(18)，具有：多个放电灯(30)；反射器(31)，设置在各个放电灯(30)上，向相同的方向反射从各个放电灯(30)射出的光；和异常判定部件(28)，个别地测定施加在放电灯(30)上的电压，根据电压个别地判定放电灯(30)的异常，在判定为异常时输出异常信号S3；以及点亮控制装置(22)，具有向放电灯(30)个别地通电或切断通电的功能，在起动时在切断至少一个备用的放电灯(30)的通电的状态下使其它放电灯(30)通电，根据异常信号(S3)切断向被判定为异常的放电灯的通电，同时使在此之前被切断通电的备用的放电灯通电。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 以及 使用 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种光源装置，其特征在于，具备：灯单元，具有：多个放电灯；反射器，设置在各个上述放电灯上，向相同的方向反射从各个上述放电灯射出的光；和异常判定部件，个别地测定施加在上述放电灯上的电压，根据上述电压个别地判定上述放电灯的异常，在判定为异常时输出异常信号；以及点亮控制装置，具有向上述放电灯个别地通电或切断通电的功能，在起动时，在切断至少一个备用的上述放电灯的通电的状态下，使其它上述放电灯通电，并且根据上述异常信号切断向被判定为异常的上述放电灯的通电，同时使在此之前被切断通电的备用的上述放电灯通电。
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