[发明专利]位置测量装置

摘要

本发明涉及位置测量装置，用以测量一个扫描单元以及一个为此在至少一个测量方向上移动的反射整体量具的相对位置，扫描单元具有多个光学元件，亦即至少一个回射元件、至少一个复合光栅、至少一个扫描光栅以及多个检测元件。在扫描单元中光学元件这样安排，扫描光路的光束和/或分光束至少两次射在反射整体量具上并在这里分别一方面由入射光束和/或分光束而另一方面由反射分光束形成一个平面，其垂直于反射整体量具的平面。通过回射元件使射在其上的分光束的方向转向到垂直于测量方向的反射整体量具。一对分光束不平行地射在复合光栅上，该复合光栅使入射其上的分光束发生干涉，使得检测元件测量相移信号。

主权项

1.位置测量装置，用以测量一个扫描单元以及一个为此在至少一个测量方向(x)上运动的反射整体量具的相对位置，其中扫描单元具有多个光学元件，亦即至少一个回射元件、至少一个复合光栅、至少一个扫描光栅以及多个检测元件，而且其中在扫描单元中这样安排光学元件：-扫描光路的光束和/或分光束至少两次射在反射整体量具上并由此分别一方面通过入射光束和/或分光束和另一方面通过反射的分光束形成一个平面，其垂直于反射整体量具的平面；-通过回射元件使射在其上的分光束的方向转到垂直于测量方向(x)的反射整体量具上；-一对分光束不平行地射在复合光栅上，该复合光栅使入射其上的分光束发生干涉，使得检测元件测量相移信号。