[发明专利]加热腔体装置有效
申请号: | 200710148999.4 | 申请日: | 2007-09-13 |
公开(公告)号: | CN101114067A | 公开(公告)日: | 2008-01-30 |
发明(设计)人: | 丁振原;黄滢儒;吴冠贤 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G03F7/38;B08B17/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 郭蔚 |
地址: | 台湾省新竹科学*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种加热腔体装置,供液晶显示器电路阵列制程使用。加热腔体装置包含加热腔体、封闭盖体以及清洁装置。加热腔体具有腔体开口。封闭盖体具有内面,可位于腔体开口处,用以遮盖腔体开口。清洁装置具有清洁面。封闭盖体于移开腔体开口处时接触清洁面。清洁装置进一步具有固定件,供固定清洁面。封闭盖体进一步包含驱动装置,用以驱动封闭盖体定位于腔体开口处。驱动装置包含汽缸及悬臂。悬臂的两端系分别与汽缸及封闭盖体连接,当汽缸驱动悬臂时,封闭盖体与悬臂连动。 | ||
搜索关键词: | 加热 装置 | ||
【主权项】:
1.一种加热腔体装置,包含:一加热腔体,具有一腔体开口;一封闭盖体,该封闭盖体系位于该腔体开口处,用以遮盖该腔体开口;以及一清洁装置,具有一清洁面,该清洁面系用以清洁该封闭盖体,该清洁装置固定于加热腔体的表面。
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