[发明专利]表面形状测定装置

摘要

本发明的表面形状测定装置包括：动作估计部分(600)，基于从仿形矢量指令部分(220)发出的仿形矢量指令，估计驱动机构的动作状态，计算估计动作状态量；校正运算部分(700)，按照在动作估计部分(600)计算的估计动作状态量，对驱动传感器的检测值进行校正运算。动作估计部分(600)包括被设定了标准模型的标准模型设定部分(311)，校正运算部分(700)包括：校正量计算部分(720)，基于估计动作状态量，计算对驱动中的驱动机构变形而产生的测定误差进行校正的校正量；以及测定数据合成部分(430)，合成驱动传感器以及检测传感器的检测值和校正量计算部分(720)计算的校正量作为测定数据。

主权项

1.一种表面形状测定装置，其特征在于，包括：仿形探测器，具有与至少一部分包括圆孤部分的被测定物表面接近连接或者接触的测定子，保持在被预先设定所述测定子和所述被测定物表面的相对位置的基准位置进行仿形扫描；仿形矢量指令部分，指令仿形矢量，该仿形矢量指示沿着所述被测定物表面的所述仿形探测器的接下来的移动位置；驱动机构，具有保持所述仿形探测器、同时使其三维地移动的驱动轴，按照所述仿形矢量指令，使所述仿形探测器移动；驱动传感器，检测所述驱动机构的驱动量；以及校正运算部分，按照所述仿形矢量指令部分所指令的仿形矢量指令，对所述驱动传感器的检测值进行校正运算，所述校正运算部分基于所述仿形矢量指令的指令值，计算对由于驱动中的所述驱动机构变形而产生的测定误差进行校正的校正量。