[发明专利]外观检查用基板保持装置

摘要

本发明涉及外观检查装置的基板保持装置，该外观检查装置将基板(2)载置在框状的载物台(3)上，进行基板的检查。在该基板保持装置中，独立于设置在载物台(3)的开口部上的棂条(17)和固定销(17a)，设置支撑基板的支撑销(25)和固定支撑销(25)的支撑杆(24)，将支撑杆(24)连接在一对输送器的传送带上，使其相对于基板进退。在宏观检查时，支撑杆和支撑销保持在隐藏于载物台的框状部(3b)的退避位置，在微观检查时，支撑杆和支撑销从背面支撑基板的缺陷(K)或者其附近。根据本发明，既可以抑制微观检查中基板的振动，又不会妨碍宏观检查。

主权项

1.一种外观检查装置的基板保持装置，该外观检查装置将基板载置于框状的载物台上，进行基板的检查，其特征在于，该基板保持装置具有：保持基板的背面周缘部的框上的载物台；在载物台的开口部内支撑基板的背面的支撑部件；以及进退单元，其使支撑部件选择地获取支撑基板的支撑位置和从基板退避的退避位置。