[发明专利]制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法

摘要

一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法。该方法可以制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。其具体过程是，将铌酸锂或钽酸锂晶片和含锂化合物放置在密闭容器中，将密闭容器内部抽真空，使真空度小于0.5帕，并将容器内部保持一定的高温，用高纯氩气调节内部气氛中各种组分的分压，以防止晶片表面出现龟裂。经过长60小时～120小时的处理，获得化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。本发明与传统VTE方法(申请专利号：01144332.4)比较，用含锂化合物代替多晶料，第一可以反复使用，大大降低成本；第二可以提高气氛中的锂含量，从而提高扩散速度，减少扩散时间；第三可以通过氩气来调节气氛中的锂含量，从而可以使用不同蒸气压的含锂化合物。

主权项

1、一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法，其特征在于该方法经过如下步骤：第一、在密闭容器中，将通常锂摩尔含量为48.2mol％～48.8mol％铌酸锂或钽酸锂晶片放置在晶片支架上，同时在晶片两侧放入蒸发源容器，蒸发源容器内放入含锂化合物蒸发源；第二、开启真空泵，将密闭容器内部抽真空，使真空度小于0.5帕，然后关闭真空泵；第三、利用密闭容器外周的加热体，升高密闭容器内的温度，对于制备化学计量比铌酸锂晶片，温度为1000～1100摄氏度，对于制备化学计量比钽酸锂晶片，温度为1500～1600摄氏度；第四、在上步高温下保持60～120小时，即可将原锂摩尔含量为48.2mol％～48.8mol％的铌酸锂或钽酸锂晶片转变为锂摩尔含量为49mol％～51mol％的化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。