[发明专利]光学式非球面测量系统及其平台有效
申请号: | 200710152071.3 | 申请日: | 2007-10-09 |
公开(公告)号: | CN101408405A | 公开(公告)日: | 2009-04-15 |
发明(设计)人: | 陈俊贤 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/24;G01B11/30;G01B9/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 孟 锐 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明的光学式非球面测量系统包含测量支架、干涉光路系统和光学式非球面测量平台。所述光学式非球面测量平台包含有偏摆旋转机构和半径调整机构。偏摆旋转机构用于提供测量时的偏摆运动,以使所述干涉光路系统得以扫描待测物的整个曲面。半径调整机构用于调整待测物的球心位置,用以与所述偏摆旋转机构的中心位置相重合。 | ||
搜索关键词: | 光学 球面 测量 系统 及其 平台 | ||
【主权项】:
1.一种光学式非球面测量平台,其特征在于包含:偏摆旋转机构,用于提供测量时的偏摆运动,以使固定测量探头能测量到偏摆直径两端之间的曲面范围;以及半径调整机构,固定在所述偏摆旋转机构之上,用于调整待测物的球心位置与所述偏摆旋转机构的中心位置相重合。
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