[发明专利]存储单元及其制造方法有效
申请号: | 200710152889.5 | 申请日: | 2007-09-21 |
公开(公告)号: | CN101207152A | 公开(公告)日: | 2008-06-25 |
发明(设计)人: | 格哈德·I·梅杰;西格弗里德·F·卡格 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/49;H01L29/51;H01L21/336;H01L27/112;H01L21/8246 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 许向华;张波 |
地址: | 美国纽*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种存储单元(10),包括:至少源电极(MS),形成在基板上(6);至少漏电极(MD),形成在该基板上(6);至少耦合层(1),形成在该源电极(MS)和该漏电极(MD)之间,和至少栅电极(MG),形成在基板上,其中:该耦合层(1)包括过渡金属氧化物,表现出填充受控的金属绝缘体转换特性;该栅电极(MG)包括氧离子导体层(2),和相对于该耦合层(1)布置该栅电极(MG)使得对该栅电极(MG)使用电信号引起该耦合层(1)中氧空位(3)浓度的改变。本发明还涉及一种存储单元(10)的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 存储 单元 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种存储单元(10),包括:至少源电极(MS),形成在基板上(6);至少漏电极(MD),形成在该基板上(6);至少耦合层(1),在该源电极(MS)和该漏电极(MD)之间,和至少栅电极(MG),形成在该基板(6)上,其中:该耦合层(1)包括表现出填充受控的金属绝缘体转换特性的过渡金属氧化物;该栅电极(MG)包括氧离子导体层(2),和相对于该耦合层(1)布置该栅电极(MG)使得对该栅电极(MG)使用电信号引起该耦合层(1)中氧空位(3)浓度的改变。
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