[发明专利]非易失性存储器及其制造方法与操作方法,以及电路系统有效

专利信息
申请号: 200710152994.9 申请日: 2007-10-11
公开(公告)号: CN101299430A 公开(公告)日: 2008-11-05
发明(设计)人: 郭明昌 申请(专利权)人: 旺宏电子股份有限公司
主分类号: H01L27/115 分类号: H01L27/115;H01L21/8247;G11C16/14;G11C16/04
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 左一平
地址: 台湾省新竹科学*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明涉及一种非易失性存储器及其制造方法与操作方法,以及电路系统。该非易失性存储器包含设置于衬底上的存储单元,此存储单元具有第一单元、半导体层、第二单元与掺杂区。第一单元包含第一栅极、第一电荷陷入层与第二电荷陷入层,其中,第一电荷陷入层与第二电荷陷入层分别设置于第一栅极两侧。半导体层设置于衬底上,覆盖住第一单元。第二单元设置于半导体层上,以半导体层为对称轴,与第一单元镜像对称。第二单元包含了设置于半导体层上的第二栅极,以及分别设置于第二栅极两侧的第三电荷陷入层与第四电荷陷入层。掺杂区设置于半导体层两侧,用以作为第一单元与第二单元共用的源极/漏极区。
搜索关键词: 非易失性存储器 及其 制造 方法 操作方法 以及 电路 系统
【主权项】:
1.一种非易失性存储器,其特征在于包括:一存储单元,设置于一衬底上,包括:一第一单元,包括:一第一栅极;以及一第一电荷陷入层与一第二电荷陷入层,设置于该第一栅极两侧;一半导体层,设置于该衬底上,覆盖住该第一单元,且该半导体层的横向尺寸大于该第一单元的横向尺寸;一第二单元,设置于该半导体层上,以该半导体层为对称轴,与该第一单元镜像对称,该第二单元包括:一第二栅极,设置于该半导体层上;以及一第三电荷陷入层与一第四电荷陷入层,设置于该第二栅极两侧;以及一掺杂区,设置于该半导体层两侧,用以作为该第一单元与该第二单元共用的源极/漏极区。
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