[发明专利]光学探测装置及包含所述光学探测装置的测量系统无效
申请号: | 200710153005.8 | 申请日: | 2007-09-18 |
公开(公告)号: | CN101393328A | 公开(公告)日: | 2009-03-25 |
发明(设计)人: | 钟政英;曾健明;叶光明;朱志良;李佶峰;林佑整 | 申请(专利权)人: | 财团法人金属工业研究发展中心 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01B11/00;G01B11/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种测量系统,其包括透镜装置、图像检索装置、定位平台、光学探测装置及信号处理装置。所述图像检索装置通过所述透镜装置检索物体的图像。所述定位平台用以调整所述透镜装置的焦距。所述光学探测装置用以探测所述物体的位置且发出第一信号。所述信号处理装置在接收且处理所述第一信号后发出第二信号至所述定位平台。借此,可实现自动对焦功能。 | ||
搜索关键词: | 光学 探测 装置 包含 测量 系统 | ||
【主权项】:
1、一种光学探测装置,其包括:发光源,其用以发出光束;光栅,其用以使所述光束产生衍射;分光器,其用以使所述光束偏振且改变所述光束的行进方向;准直透镜,其用以使所述光束形成准直光束;反射镜,其用以改变所述准直光束的行进方向;物镜,其中央具有多个同心圆形沟槽,用以将所述准直光束聚焦至物体上;柱面透镜,其用以接收来自所述物体的反射光束,所述反射光束穿过所述物镜、所述反射镜、所述准直透镜及所述分光器;及光电探测器,其用以探测所述反射光束。
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