[发明专利]移载装置无效
申请号: | 200710153127.7 | 申请日: | 2007-09-21 |
公开(公告)号: | CN101148225A | 公开(公告)日: | 2008-03-26 |
发明(设计)人: | 石川和广 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | B65G47/74 | 分类号: | B65G47/74;B65G35/00;B65G1/04;B65G49/06;B65G49/07;B25J18/00;H01L21/677;G02F1/1333 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种在避免微粒发生的问题的同时、能够对应大型化工件进行移载的移载装置。一种移载装置(30),将分别由两条臂(基端侧臂(2)和前端侧臂(3))构成的一对自由臂(4)的基端侧臂(2)的基端侧转动自如地安装在基台(1)上,具备将前端侧臂(3)的前端侧相互转动自如地连结的移载臂(5),具备使基台(1)沿移载方向滑动的滑动部(20)。 | ||
搜索关键词: | 装置 | ||
【主权项】:
1.一种移载装置,其特征在于,具备:分别由两条臂构成的一对自由臂;用来将上述一对自由臂的基端侧臂分别以上述基端侧臂的基端为中心转动自如地安装的基台;用来将上述一对自由臂的前端侧臂分别以上述前端侧臂的前端为中心转动自如地安装的移载臂;以及使上述基台沿移载方向滑动的滑动部。
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