[发明专利]间隙测量系统及其操作方法无效
| 申请号： | 200710153242.4 | 申请日： | 2007-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101153791A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | A·迈 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | G01B7/14 | 分类号： | G01B7/14;G01R19/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;张志醒 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种间隙感测系统(110)。该系统(110)包括与测试物体(114)以可变距离d(116)相互隔开的探头(112)。该系统(110)还包括用于供应通过探头(112)的电流的交流(AC)电流源(118)，其中AC电源(118)和探头(112)被配置成产生所述探头(112)的尖端和测试物体(114)之间的受控等离子体通道(120)。该系统(110)进一步包括处理单元(124)，被配置成根据所述探头(112)的尖端和测试物体(114)之间的电压差来确定所述可变距离d(116)。 | ||
| 搜索关键词： | 间隙 测量 系统 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种间隙感测系统(110)，包括：探头(112)，所述探头与测试物体(114)间隔开一个可变距离d(116)；交流(AC)电流源(118)，用于供应电流通过探头(112)，其中AC电源(118)和探头(112)被配置成在探头(112)的尖端和测试物体(114)之间产生受控的等离子体通道(120)；和处理单元(124)，被配置成根据探头(112)的尖端和测试物体(114)之间的电压差来确定所述可变距离d(116)。
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