[发明专利]三点式动态激光准直系统

摘要

本发明的三点式动态激光准直系统属于激光光腔准直技术领域以及激光主动减振技术领域，该激光准直系统以三组对称安装的压电陶瓷作为准直系统的驱动元件，以光学调整镜作为光路调整元件，通过实时检测位置传感器返回的光路信息，高速动态调整压电陶瓷，利用光学调整镜补偿光路偏差，实现准直系统的闭环调整，从而使激光光束保持高速动态准直，进而提高光束质量。本发明的有益效果是：系统重量轻，结构简单，安装方便，调节范围大，响应速度快，系统线性度好。

主权项

1.三点式动态激光准直系统，其特征在于，该准直系统主要由激光器(1)、扩束器(2)、偏振分束器(3)、反光镜(4)、聚焦物镜(5)、PSD与信号处理电路(6)、三维微驱动器(7)、三维微位移传感器(8)、A/D采集电路(9)、计算机系统(10)、D/A转换电路(11)和三路高压驱动电路(12)组成，激光器(1)发射激光信号，激光信号经过扩束器(2)和偏振分束器(3)整形后入射到反光镜(4)上，反光镜(4)的反射光经过聚焦物镜(5)照射到位置敏感传感器PSD的光敏面上，反射光经过PSD与信号处理电路(6)处理后得到与激光光束在PSD上的相对位置相关的电信号，该电信号通过A/D采集电路(9)转换后传输到计算机系统(10)；反光镜(4)上的三维微驱动器(7)的三组压电陶瓷上安装的三维微位移传感器(8)输出三路与压电陶瓷的形变成比例的电信号，该电信号通过A/D采集电路(9)转换后传输到计算机系统(10)；两路电信号经过计算机系统(10)处理后输出给D/A转换电路(11)，D/A转换电路(11)将其转换为模拟电信号，该模拟电信号经过三路高压驱动电路(12)的放大后，驱动三维微驱动器(7)的三组压电陶瓷，从而调整反光镜(4)的倾斜角。