[发明专利]热风加热装置无效
| 申请号： | 200710158319.7 | 申请日： | 2007-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN101435626A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 王绍勇 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F24H3/08 | 分类号： | F24H3/08;F24H9/20;F26B21/10;F26B21/12;F26B23/10 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及将气体加热供应的装置，具体为一种热风加热装置，解决现有技术中存在的加热气体温度忽高忽低，不能保持恒定等问题。采用该装置受热气体可长时间稳定供应，而且温度保持在指定的温度范围内，供应的气体的温度、流量、压力均可调整。该装置设有密闭腔体、导气管线、加热器、排出管路，加热器设置于密闭腔体内，导气管线缠绕于加热器上，导气管线的气体进口伸至密闭腔体外，导气管线的出口设在密闭腔体内，排出管路的气体排出口伸至密闭腔体内。本发明适用于半导体设备上的单元，可以在多种不同工艺上使用，如热板单元上、清洗工艺的吹干。 | ||
| 搜索关键词： | 热风 加热 装置 | ||
【主权项】：
1、一种热风加热装置，其特征在于：该装置设有密闭腔体(2)、导气管线(5)、加热器(6)、排出管路(9)，加热器(6)设置于密闭腔体(2)内，导气管线(5)缠绕于加热器(6)上，导气管线(5)的气体进口(7)伸至密闭腔体(2)外，导气管线(5)的出口设在密闭腔体(2)内，排出管路(9)的气体排出口(4)伸至密闭腔体(2)内。
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