[发明专利]传送手臂无效
| 申请号： | 200710158320.X | 申请日： | 2007-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN101434069A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 王绍勇 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B25J18/00;B65G49/07 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体设备上用于传送、运载晶片的手臂装置，尤其能安全传送运载带有翘曲变型的晶片的机械传送手臂，在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。本发明可以解决现有机器人上的传送手臂不能传送有翘曲变型的晶片等问题，这种手臂不仅可以传送标准的晶圆，也可以紧紧的吸附住带有翘曲变型的晶片，使之在传送过程中不会发生偏移和掉片。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 手臂 | ||
【主权项】：
1、一种传送手臂，其特征在于：在传送手臂本体上设有吸盘，在传送手臂本体内部设有与吸盘相通的真空通道。
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