[发明专利]深背景高陡度荧光滤光片的制造工艺无效
申请号: | 200710158392.4 | 申请日: | 2007-11-20 |
公开(公告)号: | CN101441288A | 公开(公告)日: | 2009-05-27 |
发明(设计)人: | 赵帅锋;曹轶;温东颖;张艳姝;吴增辉;任少鹏 | 申请(专利权)人: | 沈阳仪表科学研究院 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;C03C17/00 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 | 代理人: | 郭元艺 |
地址: | 110001辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明属光学滤光片领域,尤其涉及一种深背景高陡度荧光滤光片的制造方法,其以低荧光效应玻璃为镀膜基片,运用离子辅助沉积法进行镀膜;在膜系处理中,其隔离陡度OD0.3到OD5的波长间隔小于10nm,半带宽为15nm~40nm。本发明采用标准的7至9腔带通膜系或单侧陡度极高的非对称型带通膜系。本发明在膜系处理中,其隔离陡度OD0.3到OD5的波长间隔为小于或等于9nm。本发明在荧光滤光片设计制造技术中,采用优化设计的膜系,隔离陡度能够达到OD0.3到OD5波长间隔小于10nm;采用平衡深度衰减测试技术,滤光片的测试背景深度可以达到OD7-8;改善薄膜散射,可以有效提高镀制薄膜的背景与陡度。 | ||
搜索关键词: | 背景 陡度 荧光 滤光 制造 工艺 | ||
【主权项】:
1、深背景高陡度荧光滤光片的制造方法,其特征在于:以低荧光效应玻璃为镀膜基片,运用离子辅助沉积法进行镀膜;在膜系处理中,其隔离陡度OD0.3到OD5的波长间隔小于10nm,半带宽为15nm~40nm。
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