[发明专利]等离子体悬浮参考探针无效
| 申请号： | 200710158581.1 | 申请日： | 2007-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101170865A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 王庆;巴德纯 | 申请（专利权）人： | 东北大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;G01R1/067;G01R31/00;H01J37/244 |
| 代理公司： | 沈阳东大专利代理有限公司 | 代理人： | 刘晓岚 |
| 地址： | 110004辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量等离子体悬浮电位的参考探针，由电极(1)、低通滤波器(2)、高阻(3)、I－V变换器(4)、数据采集卡(5)、工业控制计算机(6)组成。电极(1)插入等离子体内，另一端接低通滤波器(2)；低通滤波器(2)与高阻(3)连接，高阻(3)另一端连接I－V变换器(4)；I－V变换器将收集信号转换成电压信号并输出；数据采集卡(5)接收I－V变换器(4)的输出信号并将其传给工业控制计算机(6)，工业控制计算机(6)对信号进行处理并显示。探针在等离子体中处于悬浮状态，高阻两端的电位差即为等离子体悬浮电位，采用这种结构可以对各种低温等离子体中悬浮电位实时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 悬浮 参考 探针 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量等离子体悬浮电位的等离子体悬浮参考探针，由电极(1)、低通滤波器(2)、高阻(3)、I-V变换器(4)、数据采集卡(5)、工业控制计算机(6)组成，其特征在于：所述的电极(1)插入等离子体内，另一端接低通滤波器(2)；低通滤波器(2)与高阻(3)连接，高阻(3)另一端连接I-V变换器(4)；I-V变换器将收集信号转换成电压信号并输出；数据采集卡(5)接收I-V变换器(4)的输出信号并将其传给工业控制计算机(6)，工业控制计算机(6)对信号进行处理并显示。
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