[发明专利]一种透明导电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 200710160242.7 | 申请日： | 2007-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN101221830A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 叶志镇;马全宝 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01B1/08 | 分类号： | H01B1/08;H01B5/14;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的透明导电薄膜是镓掺杂或铝掺杂的锌镁氧薄膜，各组成的摩尔百分比含量为：铝或镓1.0～5.0％，镁1～20.0％，余量为锌，(Zn+Mg+Al)或(Zn+Mg+Ga)与O的摩尔数之比为1∶1。采用直流反应磁控溅射法，以锌镁铝或锌镁镓合金为靶材制备。本发明方法简单，掺杂量易控制，沉积系统简单、易操作、可实现大面积镀膜，与其它制备技术相比，更有利于实现工业化生产。本发明制得的镓掺锌镁氧和铝掺锌镁氧透明导电薄膜具有高透过率，良好的电光学性能，重复性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明导电薄膜，其特征在于它是镓掺杂或铝掺杂的锌镁氧薄膜，各组成的摩尔百分比含量为：铝或镓 1.0～5.0％镁 1～20.0％余量为锌，上述组分含量之和为100％，(Zn+Mg+Al)或(Zn+Mg+Ga)与O的摩尔数之比为1∶1。
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