[发明专利]一种在曲面金属表面制备图文的方法无效
申请号: | 200710161062.0 | 申请日: | 2007-12-24 |
公开(公告)号: | CN101470342A | 公开(公告)日: | 2009-07-01 |
发明(设计)人: | 赵万里;陈云;陈梁 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;G03F1/14;G03F7/00 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王凤桐;程荣逵 |
地址: | 518119广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种在曲面金属表面制备图文的方法,其中,该方法包括将菲林与表面有感光油墨层的曲面金属表面接触,然后将感光油墨曝光、显影,所述菲林为形状与曲面金属表面的形状相适应的曲面菲林。由于本发明制备的图文是直接在曲面金属表面形成,没有经过先在平面的表面形成图案再经过冲压成型的过程,因此形成的图文没有发生变形,这样制备的图文比较精确;在本发明中,优选采用曲面曝光机进行曝光,使曲面上各点照射的光强一致,这样使图案的边界部分都能清晰地显影出来,从而得到更精确的所需要的图文。 | ||
搜索关键词: | 一种 曲面 金属表面 制备 图文 方法 | ||
【主权项】:
1、一种在曲面金属表面制备图文的方法,其特征在于,该方法包括将菲林与表面有感光油墨层的曲面金属表面接触,然后将感光油墨曝光、显影,所述菲林为形状与曲面金属表面的形状相适应的曲面菲林。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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