[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种图像传感器及其制造方法。图像传感器包括半导体衬底、金属线层、第一导电型导电层、第一像素隔离层、本征层以及第二导电型导电层。半导体衬底包括电路区域。金属线层包括多个金属线和层间绝缘层，形成在半导体衬底上。具有图案的第一导电层形成在金属线上，该图案由像素隔离层彼此隔开。第一像素隔离层形成在第一导电型导电层的隔离图案之间。本征层形成在第一导电层和第一像素隔离层上。第二导电型导电层形成在本征层上。

主权项

1、一种图像传感器，包括：半导体衬底，包括电路区域；金属线层，形成在所述半导体衬底上并且包括多个金属线和层间绝缘层；第一导电层，包括彼此隔开的图案，形成在所述多个金属线上；第一像素隔离层，设置在所述第一导电层的图案之间；本征层，形成在所述金属线层上；第二导电层，形成在所述本征层上；以及第二像素隔离层，设置在所述第二导电层上，且在对应所述第一像素隔离层的位置处。