[发明专利]对准及叠对的标记、及其掩模结构与使用方法有效
申请号: | 200710161259.4 | 申请日: | 2007-09-25 |
公开(公告)号: | CN101398630A | 公开(公告)日: | 2009-04-01 |
发明(设计)人: | 邱垂福;郭荣治 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 彭久云;许向华 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种对准及叠对的标记、及其掩模结构与使用方法。对准及叠对标记包含第一标记图案及第二标记图案。第一标记图案包含第一图案及第二图案,而第二标记图案包含第三图案及第四图案。第一图案包含沿第一方向排列的多个矩形区域,且其每一矩形区域在第二方向的长度大于第一方向的长度,其中第一方向垂直于第二方向。第二图案设置于第一图案在第二方向上的两外侧且包含沿第二方向排列的多个矩形区域,且其每一矩形区域在第一方向的长度大于第二方向的长度。第三图案包含分别设置于第一图案在第一方向上的两外侧的两个矩形区域,而第四图案包含分别设置于第二图案在第二方向上两外侧的两个矩形区域。 | ||
搜索关键词: | 对准 标记 及其 结构 使用方法 | ||
【主权项】:
1. 一种对准及叠对标记,包含:第一标记图案,包含第一图案及第二图案,该第一图案包含沿第一方向排列的多个矩形区域,该第一图案中的每一该矩形区域在第二方向的长度大于该第一方向的长度,该第一方向垂直于该第二方向,该第二图案设置于该第一图案在第二方向上的两外侧且包含沿该第二方向排列的多个矩形区域,该第二图案中的每一该矩形区域在该第一方向的长度大于该第二方向的长度;以及第二标记图案,包含第三图案及第四图案,该第三图案包含分别设置于该第一图案在第一方向上的两外侧的两个矩形区域,该第四图案包含分别设置于该第二图案在第二方向上两外侧的两个矩形区域。
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