[发明专利]衬底抛光设备和方法有效
申请号: | 200710162207.9 | 申请日: | 2007-10-08 |
公开(公告)号: | CN101157199A | 公开(公告)日: | 2008-04-09 |
发明(设计)人: | 胜冈诚司;关本雅彦;国泽淳次;宫崎充;渡边辉行;小林贤一;粂川正行;横山俊夫 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | B24B29/00 | 分类号: | B24B29/00;B24B57/02;B24B41/04;B24B41/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 蔡洪贵 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种衬底抛光设备包括衬底保持机构和抛光机构,所述衬底保持机构包括用于保持待抛光衬底的机头,所述抛光机构包括上面安装有抛光垫的抛光台。由所述机头保持的衬底被压靠所述抛光台上的所述抛光工具,以通过所述衬底和所述抛光工具的相对运动抛光所述衬底。所述衬底抛光设备还包括衬底传递机构,所述衬底传递机构用于将待抛光的衬底送到所述机头并接收已抛光的衬底。所述衬底传递机构包括用于接收待抛光衬底的待抛光衬底接收器和用于接收已抛光衬底的已抛光衬底接收器。 | ||
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【主权项】:
1.一种衬底抛光设备,包括:衬底保持机构,所述衬底保持机构包括用于保持待抛光衬底的机头;抛光机构,所述抛光机构包括具有抛光工具的抛光台,由所述机头保持的衬底被压靠所述抛光台上的所述抛光工具,以通过所述衬底和所述抛光工具的相对运动抛光所述衬底;衬底传递机构,所述衬底传递机构包括用于接收待抛光衬底的待抛光衬底接收器、和用于接收已抛光衬底的已抛光衬底接收器,所述待抛光衬底接收器和所述已抛光衬底接收器相互同轴地设置。
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