[发明专利]离子植入方法有效
| 申请号： | 200710162318.X | 申请日： | 2007-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101399147A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 林伟政;沈政辉 | 申请（专利权）人： | 汉辰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈 亮 |
| 地址： | 台湾省新竹县宝山乡新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种离子植入方法，用于将离子植入一靶材，此离子植入方法，利用转动靶材并配合一等速率扫描将多个离子植入靶材；或，亦可在不转动靶材的前提下使用变动速率将多个离子植入靶材。不需提供浓度均匀分布的离子束即可制造出特殊剂量分布的离子植入结果，可减少制程时间且提高制程良率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种离子植入方法，用于将离子植入一靶材，该离子植入方法，包含下面步骤：提供一离子束，其中该离子束中含有多个离子；改变该离子束的离子浓度分布；转动该靶材；以及将该离子束中的该些离子依据一等速率扫描植入该靶材。
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