[发明专利]样品试验的系统和方法无效
| 申请号： | 200710162790.3 | 申请日： | 2007-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101173953A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 王文戈;王文辉;王桂林;徐奚祥;隋丹娜;赵贤忠;徐思标;谢广平 | 申请（专利权）人： | 亚申科技研发中心（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/00 | 分类号： | G01N35/00;G01N35/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于测试装载于基板上的样品的试验系统。所述试验系统包括封闭空腔，预处理单元及试验单元。所述封闭空腔具有第一区域和第二区域，所述预处理单元于所述基板位于第一区域内时对所述样品进行预处理。所述试验单元于所述样品进行预处理后且所述基板位于第二区域时对样品进行测试，该试验单元包括有测试装置用来确定所述样品的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 试验 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试装载于基板上的样品的试验系统，其特征在于：所述试验系统包括封闭空腔，预处理单元及试验单元，所述封闭空腔具有第一区域和第二区域，所述预处理单元于所述基板位于第一区域时对所述样品进行预处理；所述试验单元于所述样品进行预处理后且所述基板位于第二区域时对样品进行测试，该试验单元包括有测试装置用来确定所述样品的特性。
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