[发明专利]分配装置无效

专利信息
申请号: 200710164257.0 申请日: 2007-10-17
公开(公告)号: CN101135814A 公开(公告)日: 2008-03-05
发明(设计)人: 孙世豪;陈明填 申请(专利权)人: 塔工程有限公司
主分类号: G02F1/1339 分类号: G02F1/1339;B05C5/00;B05C11/10
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 章社杲;吴贵明
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供一种分配装置。该分配装置包括:喷嘴,接收来自存储液体的注射器的液体,并在相对于基板相对移动的同时将液体排出在基板上;排出阀单元,控制从注射器供应至喷嘴的液体的流动,从而控制液体的排出;以及恒压单元,其使得液体以预定量从喷嘴排出,该恒压单元包括:调节器,用于接收气体,并将气体的压力值调节至预定值;以及压力校正单元,如果气体的压力值大于预定值,该压力校正单元用于排出由调节器供应的气体,而如果气体的压力值等于或小于预定值,该压力校正单元用于将气体输送到注射器,从而使得待供应至注射器的气体的压力误差最小化。
搜索关键词: 分配 装置
【主权项】:
1.一种分配装置,包括:喷嘴,接收来自存储液体的注射器的液体,并在相对于基板移动的同时将所述液体排出到所述基板上;排出阀单元,控制待从所述注射器供应至所述喷嘴的液体的流动,从而控制所述液体的排出;以及恒压单元,其使得液体以预定量从所述喷嘴排出,所述恒压单元包括:调节器,用于接收气体,并将所述气体的压力值调节至预定值;以及压力校正单元,如果所述气体的所述压力值大于所述预定值,所述压力校正单元用于排出由所述调节器供应的所述气体,而如果所述气体的所述压力值等于或小于所述预定值,所述压力校正单元用于将所述气体输送到所述注射器,从而使得待供应至所述注射器的气体的压力误差最小化。
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