[发明专利]分配装置无效
申请号: | 200710164257.0 | 申请日: | 2007-10-17 |
公开(公告)号: | CN101135814A | 公开(公告)日: | 2008-03-05 |
发明(设计)人: | 孙世豪;陈明填 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | G02F1/1339 | 分类号: | G02F1/1339;B05C5/00;B05C11/10 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 章社杲;吴贵明 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种分配装置。该分配装置包括:喷嘴,接收来自存储液体的注射器的液体,并在相对于基板相对移动的同时将液体排出在基板上;排出阀单元,控制从注射器供应至喷嘴的液体的流动,从而控制液体的排出;以及恒压单元,其使得液体以预定量从喷嘴排出,该恒压单元包括:调节器,用于接收气体,并将气体的压力值调节至预定值;以及压力校正单元,如果气体的压力值大于预定值,该压力校正单元用于排出由调节器供应的气体,而如果气体的压力值等于或小于预定值,该压力校正单元用于将气体输送到注射器,从而使得待供应至注射器的气体的压力误差最小化。 | ||
搜索关键词: | 分配 装置 | ||
【主权项】:
1.一种分配装置,包括:喷嘴,接收来自存储液体的注射器的液体,并在相对于基板移动的同时将所述液体排出到所述基板上;排出阀单元,控制待从所述注射器供应至所述喷嘴的液体的流动,从而控制所述液体的排出;以及恒压单元,其使得液体以预定量从所述喷嘴排出,所述恒压单元包括:调节器,用于接收气体,并将所述气体的压力值调节至预定值;以及压力校正单元,如果所述气体的所述压力值大于所述预定值,所述压力校正单元用于排出由所述调节器供应的所述气体,而如果所述气体的所述压力值等于或小于所述预定值,所述压力校正单元用于将所述气体输送到所述注射器,从而使得待供应至所述注射器的气体的压力误差最小化。
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