[发明专利]在基底上涂覆分离剂层的方法和装置无效
| 申请号： | 200710164307.5 | 申请日： | 2007-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN101337220A | 公开（公告）日： | 2009-01-07 |
| 发明（设计）人： | S·库珀 | 申请（专利权）人： | 莱博德光学有限责任公司 |
| 主分类号： | B05D7/24 | 分类号： | B05D7/24;B05C9/08;B05C11/10;B05B15/04 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡民军;胡强 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 在一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的方法中，分离剂在配备有至少一个对准该基底的喷嘴的蒸发器室的内室中被蒸发，本方法规定，用于蒸发的液态分离剂被喷入该蒸发器室的内室中。在一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的装置中，真空室具有至少一个金属蒸发器，该装置具有蒸发器室，该蒸发器室配备有至少一个对准基底的喷嘴，其中分离剂能通过输送管路被送入该蒸发器室的内室。在这里，输送管路与喷入装置相连，用于蒸发的液态分离剂借助喷入装置可被喷入或者被喷入蒸发器室内室。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 上涂覆 分离 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的方法，其中该分离剂在配备有至少一个对准该基底的喷嘴的蒸发器室的内室中被蒸发，其特征在于，用于蒸发的液态分离剂被喷入该蒸发器室的内室中。
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