[发明专利]非接触式微镜无效
| 申请号： | 200710164687.2 | 申请日： | 2007-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN101324704A | 公开（公告）日： | 2008-12-17 |
| 发明（设计）人： | 潘晓和 | 申请（专利权）人： | 视频有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;F16C11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微镜装置，该微镜装置包括由衬底支撑的铰链和围绕铰链可倾斜的镜板。铰链具有大于1微米的长度，小于500纳米的厚度，和小于1000纳米的宽度。当镜板从非倾斜位置倾斜离开时铰链可在镜板上产生弹性恢复力。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 式微 | ||
【主权项】：
1.一种微镜装置，包括：由衬底支撑的铰链，其中该铰链具有大于1微米的长度，小于800纳米的厚度，和小于1000纳米的宽度；和镜板，其可围绕该铰链倾斜，其中该铰链被配置为当该镜板从非倾斜位置倾斜离开时在该镜板上产生弹性恢复力。
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