[发明专利]保持环、用于向保持环施加负载的柔性膜和保持环组件有效
| 申请号： | 200710165591.8 | 申请日： | 2007-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN101293332A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·M·苏尼加;安德鲁·J·纳甘盖斯特;吴正勋 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一种具有底座组件、保持环组件、夹持环和柔性膜的研磨头。一种保持环组件具有设计形状以提供环形腔室的柔性膜和环形保持环，其中该柔性膜的环形同心凸起设计尺寸以啮合入该环形保持环的环形同心凹陷中。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 用于 施加 负载 柔性 组件 | ||
【主权项】：
1.一种保持环组件，包括：设计形状以提供环形腔的柔性膜，该柔性膜包括同心内侧壁和外侧壁、从该内侧壁和外侧壁水平延伸的环形同心边、环形下表面和从该环形下表面向下延伸的两个环形同心凸起；以及设置在所述柔性膜下方的环形保持环，该环形保持环包括构造为外周围绕衬底边缘以保持衬底的内表面、构造为接触研磨垫的下表面、环形上表面，和在该环形上表面中的两个环形同心凹陷；其中所述柔性膜的环形同心凸起设计尺寸以啮合入所述环形保持环的环形同心凹陷中。
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