[发明专利]用于研磨头的柔性膜有效
| 申请号： | 200710165597.5 | 申请日： | 2007-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN101293334A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·M·苏尼加;安德鲁·J·纳甘盖斯特;吴正勋 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B41/047;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一种具有底座组件、保持环组件、夹持环和柔性膜的研磨头。该柔性膜具有主要部分和外环形部分，其中该主要部分和该外环形部分之间的接合点包括外围边缘铰链和沿该外环形部分的外壁的铰链上方的凹陷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 研磨 柔性 | ||
【主权项】：
1.一种柔性膜，包括：具有提供衬底安装表面的下表面的主要部分；以及从所述主要部分的外边缘延伸的外环形部分；其中所述主要部分和所述外环形部分之间的接合点包括外围边缘铰链和沿所述外环形部分的外壁的该铰链上方的环形凹陷，所述外围边缘铰链具有圆形内表面和外表面并设计为柔性的。
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