[发明专利]为掩模设计执行数据准备的系统、方法和计算机可读媒体有效
| 申请号： | 200710165598.X | 申请日： | 2007-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN101295325A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏任;黄健朝;涂志强 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G03F1/14 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 台湾省新竹市新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种为掩模设计执行数据准备的系统、方法和计算机可读媒体。接收集成电路的设计且执行数个光学临近修正前处理程序，使得这些光学临近修正前处理程序同时进行。执行光学临近修正处理程序以响应每一光学临近修正前处理程序均已完成的决定。执行光学临近修正后处理程序以响应光学临近修正处理程序已完成的决定。 | ||
| 搜索关键词： | 设计 执行 数据 准备 系统 方法 计算机 可读 媒体 | ||
【主权项】：
1.一种在掩模设计过程中执行数据准备的方法，至少包括：接收集成电路设计；执行多个光学临近修正前处理程序，使所述多个光学临近修正前处理程序同时进行；执行光学临近修正处理程序，以响应所述多个光学临近修正前处理程序中的每一个的已完成的决定；执行光学临近修正后处理程序，以响应该光学临近修正处理程序已完成的决定；以及提供已完成光学临近修正前处理程序、光学临近修正处理程序和光学临近修正后处理程序的所述集成电路设计至掩模绘图机。
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