[发明专利]在液晶显示器的基板上形成排列层的方法有效
申请号: | 200710165733.0 | 申请日: | 2007-11-06 |
公开(公告)号: | CN101191198A | 公开(公告)日: | 2008-06-04 |
发明(设计)人: | 王协友 | 申请(专利权)人: | 王协友;协立光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/56;C23C16/40;G02F1/1333 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈晨 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明为一种在液晶显示器(LCD)的基板上形成排列层的方法,其中该基板被放置于真空室并且经过净化步骤,该净化步骤加热该基板且从真空室中移除水蒸气,特别的是重复多次地将该真空室排空至低压状态,并将已预热的惰性气体填充至真空室,该排列层接着以气相沉积法沉积,等离子体辅助气相沉积法亦可选择性地用于沉积该排列层,再者,等离子体清洁法可在沉积该排列层前清洁该基板。本发明的方法很容易实现批次制作多个基板。 | ||
搜索关键词: | 液晶显示器 基板上 形成 排列 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在液晶显示器的基板上形成排列层的方法,其包括步骤:在真空室中放置基板;净化该真空室;以及利用气相沉积法沉积排列层。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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