[发明专利]在液晶显示器的基板上形成排列层的方法有效

专利信息
申请号: 200710165733.0 申请日: 2007-11-06
公开(公告)号: CN101191198A 公开(公告)日: 2008-06-04
发明(设计)人: 王协友 申请(专利权)人: 王协友;协立光电股份有限公司
主分类号: C23C16/00 分类号: C23C16/00;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/56;C23C16/40;G02F1/1333
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 陈晨
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明为一种在液晶显示器(LCD)的基板上形成排列层的方法,其中该基板被放置于真空室并且经过净化步骤,该净化步骤加热该基板且从真空室中移除水蒸气,特别的是重复多次地将该真空室排空至低压状态,并将已预热的惰性气体填充至真空室,该排列层接着以气相沉积法沉积,等离子体辅助气相沉积法亦可选择性地用于沉积该排列层,再者,等离子体清洁法可在沉积该排列层前清洁该基板。本发明的方法很容易实现批次制作多个基板。
搜索关键词: 液晶显示器 基板上 形成 排列 方法
【主权项】:
1.一种在液晶显示器的基板上形成排列层的方法,其包括步骤:在真空室中放置基板;净化该真空室;以及利用气相沉积法沉积排列层。
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