[发明专利]氧化锌铝透明导电薄膜的制备方法及专用设备无效
| 申请号： | 200710165971.1 | 申请日： | 2007-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101429645A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 徐进成;林春园 | 申请（专利权）人： | 徐进成;林春园 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌铝透明导电薄膜的制备方法及设备。该设备包括一个真空溅镀腔体(1)，内设有离子溅镀枪(2)、靶材固定基座(4)、被基座固定的靶材(3)，镀制品(5)。镀制品在真空溅镀腔体内进行离子束溅镀，可在室温高真空度下的条件镀制，以一支离子源溅镀枪同时溅镀一样或多样材料。可选择对两种单一材料靶材同时共镀、或混合两种材料之单一靶材镀制、或单一材料靶材与混合材料靶材共镀。置放靶材的基座能调整靶材位置，AZO组合的比例就能以共镀方式调整靶材基座位置，两靶材同时在不同的轰击面积下决定混合比例，能分析出实际薄膜成分比例及特性，准确有效地调变AZO组合成分，在室温下制镀出高透光性及导电性佳的成品。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 透明 导电 薄膜 制备 方法 专用设备 | ||
【主权项】：
1、一种制备氧化锌铝透明导电薄膜的方法，包括以下步骤：(1)用真空溅镀腔体中的离子溅镀枪所产生的离子束撞击靶材；(2)、向真空溅镀腔体中通入靶材制镀所需的气体并控制流量；(3)、在室温高真空度下，用离子束撞击靶材所溅击出的原子溅镀于镀制品，即得。
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