[发明专利]大直径光纤芯棒的PCVD制作方法有效
| 申请号： | 200710168384.8 | 申请日： | 2007-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101182113A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 雷高清;蒋晓强;李震宇;刘善佩;周志攀;龙胜亚 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤光缆有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 胡建平 |
| 地址： | 430073湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大直径光纤芯棒的PCVD制作方法。取石英衬管的外径为36～46毫米、内径32～40毫米，衬管长度1.45～1.85米，进行PCVD加工；加工工艺的参数为：微波谐振腔的高频功率控制在6KW～15KW，沉积温度1080℃～1130℃，流经衬管管内混合气体的种类：四氯化硅蒸气、四氯化锗蒸气、高纯氧气、氟里昂，衬管的管内压力为10－15毫巴，管内气体流速为30－80米/秒，气体体积流量为4400SCCM－8800SCCM。本发明解决了因气体流速太快而使等离子体不稳定的技术难题，衬管沉积的均匀性得到改善，提高了衬管沉积芯棒的有效长度，使得单根芯棒的拉丝长度增加，提高了工效和设备的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 直径 光纤 pcvd 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种大直径光纤芯棒的PCVD制作方法，其特征在于取外径为36～46毫米、内径32～40毫米，衬管长度1.45～1.85米的石英衬管，进行PCVD加工；加工工艺的参数为：微波谐振腔的高频功率控制在6KW～15KW，沉积温度1080℃～1130℃，流经衬管管内混合气体的种类：四氯化硅蒸气、四氯化锗蒸气、高纯氧气、氟里昂，衬管的管内压力为10-15毫巴，管内气体流速为30-80米/秒，气体体积流量为4400SCCM-8800SCCM。
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