[发明专利]表面形状测定装置及方法、以及应力测定装置及方法

摘要

应力测定装置(1)中，通过由遮光图案拍摄部(43)接收经由物镜(457)而照射至基板(9)上的光的反射光，从而得到配置于光学系统(45)的孔径光阑部(453)的遮光图案(453a)的像。在控制部(5)中，基于遮光图案拍摄部(43)的输出，求得多个倾斜矢量测定区域中的基板(9)的倾斜矢量以及基板(9)的表面形状，基于根据表面形状所求得的曲率半径、膜厚以及根据基板的厚度可求得膜内应力。在应力测定装置(1)中，由于来自物镜(457)的光在基板上大致成为平行光，故基板上的各倾斜矢量测定区域中能够不调焦而进行测定，从而能够容易且迅速地求得基板的表面形状。其结果，能够容易且迅速地求得基板(9)上膜内应力。

主权项

1.一种表面形状测定装置，用于测定对象物的表面形状，其特征在于，具有：光源，其射出光；光学系统，其将上述光源射出的光经由物镜导向对象物上的照射区域，并将来自上述照射区域的反射光经由上述物镜导向规定位置；遮光图案，其在从上述光源至上述照射区域的光路上，配置于在光学上与孔径光阑位置大致成共轭关系的位置；拍摄部，其获取成像于上述规定位置的上述遮光图案的像；倾斜矢量计算部，其基于上述拍摄部的输出，求得表示上述照射区域法线方向的倾斜矢量；移动机构，其使上述照射区域相对上述对象物移动；以及表面形状计算部，其基于上述倾斜矢量计算部求得的上述对象物上的多个区域的倾斜矢量，求得上述对象物的表面形状。